ナノテク機器

兵庫県立大学高度産業科学技術研究所の松井真二教授のご指導で、半導体集積回路線幅を現在の100ナノレベルから30~50ナノレベルまで上げるために非常に簡易にしかも低コストで出来るナノインプリント装置を開発してきました。 2003年に実験モデルを開発し出展した。2005年は2インチタイプ(UV装置付)と6インチタイプアライメント装置を発売。2007年ローラータイプを発売し、2008年には熱式UV対応ハイブリットナノインプリンターを発表。さらに、大阪大学大学院工学研究科付属超精密科学研究センターの山村和也准教授のご指導で、数値制御ローカルウェットエッチング(NC-LWE)法による超精密非接触表面加工システムの実用機を開発した。ツールをワーク表面に対して非接触走査移動させ、微小な凹凸をエッチング加工し、ナノオーダーの表面加工が可能です。ユーザーとしては国公立研究機関、大学、大手メーカーのR&D部門で主に研究開発・基礎実験用に使用されています。 

数値制御ローカルウェットエッチング装置

カタログダウンロード(PDF)
◆MS-3030LWE

熱式・UV式対応ハイブリットナノインプリンター

中性子関連機器

中性子ビームを用いた各種実験用機器の設計製作設置を行っています。

製品名 中性子チョッパー、中性子ビームライン、エンドステーション実験装置

 

日本原子力研究開発機構 J-PARC 物質・生命科学実験施設

BL02中性子ビームライン(内部スーパーミラー:真空:全長35m)

 
BL17 実験ステーション

放射光関連機器

当社は高輝度光科学研究センター(SPring-8)、兵庫県立大学高度産業科学技術研究所(ニュースバル)、自然科学研究機構分子科学研究所などの大型・中型放射光施設の蓄積リングをはじめ各種ビームラインを構成する機器類を、超高真空技術、精密加工技術、精密位置決め技術、高電圧技術、制御技術などを駆使して製品開発しております。

機器名 前置鏡チャンバー、4象限スリットチャンバー、ビーム位置モニター、ビームシャッター、各種マニピュレータ

4象限スリット
(放射光を整形し、任意の形のビームを作り出す装置。また、完全に放射光を遮断することもできる)
※ 兵庫県立大学(ニュースバル)殿納入

レーザー関連機器

当社は35年ほど前から大阪大学レーザー核融合研究センター殿(現大阪大学レーザー科学研究所)を通してレーザー機器(主としてレーザーアンプ)を開発してまいりました。
現在は、レーザー研はもとより、特定の研究所向けのレーザー機器および関連機器を開発しております。

10kjPWレーザー装置「LFEX」(手前1列)
激光12号ガラスレーザー装置(奥3列)
※大阪大学レーザー科学研究所殿納入

各種超高真空機器

真空機器の用途は非常に広範囲に及び、あらゆる分野で使用されております。
その領域も低真空から超高真空までと広く、当社は高真空から超高真空の領域の機器を開発製造しております。当社が真空機器を手がけてからおよそ45年にもなり、それだけに機器に対して信頼を頂いております。特に超高真空機器でメカニカル駆動を伴い自由に遠隔操作する機器には自信があります。

機器名 各種真空チャンバー、各種ダクト、ゲートバルブ、真空フランジ

加速器診断用計測チャンバー
(あらゆる方向からのビーム計測が高精度にできるようなポートを多数備えた真空チャンバー)
※ 高輝度光科学研究センター(Spring-8)殿納入

半導体・液晶パネル製造装置


半導体製造装置や、液晶パネルの製造工程でのプロセス装置間の搬送装置を設計製作しています。
御客様の工場のTOPSECRETに属するためご説明はできません。

最先端医療機器、防衛関連機器


この分野の製品はTOPSECRETのためお見せすることができませんが、当社の機器は部品加工、組立、検査の各工程でISO9001に基づいた品質保証のもとで製造を行い、お客様にご満足を頂いております。

その他R&D機器・精密機器

当社の製品の多くは国公立研究機関や各大学、大手メーカーのR&D部門に提供する研究用機器および先行試作開発機器であります。
R&D機器は非常に多岐にわたり、そのほとんどが初めて手がけるものばかりですが、持ち前の技術力で対応し、研究者の先生方に喜んでいただいております。

機器分野 超精密加工装置、放射光関連機器、超高真空機器、レーザー関連機器、中性子機器、バイオ関連機器、EUV関連機器

大阪大学大学院工学研究科の超精密科学研究センター殿との共同開発により製作した数値制御プラズマCVM加工装置(2004年)

プラズマCVMの詳しい解説はここをクリックして下さい。